滚轮印的产生

一、滚筒印刷的分析

刻蚀后或El图中与刻蚀滚轮位置一致的标记称为滚轮痕，主要是由于滚轮异常造成的。先附着在滚轮表面的污染物污染硅片；二，滚筒上有毛刺，导致滚筒硅片表面有划痕。

二、滚筒印花的典型形态特征

如果是通过滚筒摩擦，则不可能进行滚筒打印，但蚀刻滚筒在180度反转时与硅片发生滑动摩擦，可根据滚筒打印是否间歇进行锁定。

整个表面存在问题，可以通过滚轮结构来判断。因为其他滚柱是线性接触的，所以它们可以通过表面接触的滚柱锁定。

三、滚筒打印图像分析

（1）蚀刻槽滚筒印刷

1.原因

硅片离开刻蚀槽挡板后，刻蚀表面仍有少量刻蚀液。在进入水箱之前，蚀刻表面仍在发生轻微的化学反应。由于步进滚轮与硅片之间有四个接触面，因此四个接触面反应程度不同于其他地方，会产生滚轮痕。

关于步进滚轮：在随后的碱洗、酸洗和纯水清洗后会部分消除，但由于步进滚轮的广泛使用，后续的碱洗和酸洗不会消除。它需要尽可能少地使用，并且放错地方。

注意：这种情况特别罕见，但确实有相关影响。

2.可行措施

A.更换细齿滚柱：开槽前和开槽后可安装4-5个螺纹滚柱，或开槽后可更换所有螺纹滚柱；

B.步进滚轮造成的滚轮印可以优化配方，增加每次清洗的循环次数，并将新水流量控制在12L/min，滚轮与工艺需要匹配；

C.对于刻蚀槽后阶梯滚轮引起的滚轮印，在相同参数下，低速时的去除效果明显优于高速时的去除效果。后清洁完全能够移除。高速运行时，可以对参数进行优化，但参数存在局限性。可通过更换滚轮来调整工艺参数。

D.蚀刻槽的低循环流量导致硅片离开蚀刻槽时，后蚀刻槽的液位挡壁过高，导致蚀刻液缓慢溢出。一般来说，蚀刻槽后挡土墙的高度可以略低于前挡土墙，以便蚀刻液尽可能从后挡土墙中溢出。循环流量过低也会影响溢流。

3.干燥槽滚轮印

A.不合理的配方优化导致干燥前疏水性差，进一步导致挤压滚轮无法有效去除残留水分，硅片中更多残留水分进入干燥段；

B干燥段温度、风量设置低；

C设备调试不好，经常堵塞层压，导致硅片携带药液进入干燥区；

D滚轮变形，或滚轮表面有缺陷和毛刺。

2.可行措施

A.检查冲洗液3的挤水效果。新水流量可适当增加，以确保每次水洗后具有良好的疏水性。压水滚轮能有效去除硅片上的残留物；

B.调整干燥槽风量为190-200l/min，温度为59-60℃（这两个因素会影响皮带打印和滚筒打印）；

C.检查并更换有问题的滚筒；